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地址:上海市松江區(qū)沈磚公路5666號1幢B棟602室無塵室潔凈度等級標準（美標）就是美國聯(lián)邦標準無塵車間級別，其標準內(nèi)容主要從空氣中塵粒直徑在0.1um、0.2um、0.3um、0.5um、5um五個限定值進行了規(guī)定要求，從而劃分出9個無塵車間潔凈等級，具體的塵粒直徑限定要求如下表：
|
ISO-146441-1 |
FED STD |
209E |
CLASS |
Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size |
|||||
|
ISO Class |
English |
Metric |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
|
m3 |
m3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
|||||
|
1 |
ISO1 |
10 |
2 |
||||||
|
2 |
ISO2 |
100 |
26 |
10 |
4 |
||||
|
3 |
1 |
M1.5 |
ISO3 |
1000 |
265 |
106 |
35 |
||
|
4 |
10 |
M2.5 |
ISO4 |
10000 |
2650 |
1060 |
10 |
353 |
|
|
5（百級） |
100 |
M3.5 |
ISO5 |
100000 |
26500 |
10600 |
100 |
3530 |
29 |
|
6（千級） |
1000 |
M4.5 |
ISO6 |
1000000 |
265000 |
106000 |
1000 |
35300 |
293 |
|
7（萬級） |
10000 |
M5.5 |
ISO7 |
10000 |
353000 |
2930 |
|||
|
8（十萬級） |
100000 |
M6.5 |
ISO8 |
100000 |
3530000 |
29300 |
|||
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